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RegistrierenSolvaclean
Fluorgasgemische als umweltfreundliche Reinigungsgasalternative für Halbleiter
- About Company
Info
Solvaclean
Fluorgasgemische als umweltfreundliche Reinigungsgasalternative für Halbleiter
Paketschein Datum
25. Januar 2021
Von
Solvay
Von
Belgien
Reifegrad
D - Kommerzialisierung à petite échelle
Die Hersteller von Halbleiterchips verwenden in ihren Prozessen eine Vielzahl von Gasen, um Siliziumwafer zu strukturieren. Nach der Bearbeitung einer bestimmten Anzahl von Wafern müssen die Prozesskammern gereinigt werden. Um dem Bedarf der Halbleiterindustrie gerecht zu werden, hat Solvay zwei verschiedene Fluorgasmischungen als umweltfreundliche Gase für CVD-Reinigungsprozesse entwickelt und weltweit patentiert. Solvaclean ist ein Reinigungsgas, das die drei wichtigsten Reinigungsgase C2F6, CF4 und NF3 durch umweltfreundliche fluorierte Gasmischungen ersetzt. Dieses Projekt umfasste die Validierung und Optimierung der neuen Reinigungsprozesse auf Produktionsanlagen und die Freigabe für die FAB-Produktion (Halbleiterproduktionsanlage, in der Geräte wie integrierte Schaltkreise hergestellt werden). Solvaclean reinigt mit ähnlicher Geschwindigkeit und Effizienz wie die Alternativen, wobei weniger Gas pro Anwendung verbraucht wird.
Die Vorteile für die Umwelt
- •Weniger fluoriertes Gas verwendet
- •2200 t CO2-Einsparungen auf der Basis von 30000 Wafern
- •Keine Plasmaverbrennung des Abgases erforderlich
- •2200 t CO2-Einsparung im Vergleich zur Reinigung von 30000 Wafern mit C2F6 - Potenzial zur Einsparung von jährlich 4,5 Millionen Tonnen CO2-Äquivalent
- •Bis zu 10 % Energieeinsparung durch Plasmaquellen und keine Plasmabrenner
- •Bis zu 50% Wassereinsparung
Die finanziellen Vorteile
- •Die Amortisationszeit für den Ersatz von C2F6 beträgt weniger als 2 Jahre.
- •Solvaclean benötigt keine Plasmaverbrennungsanlagen, um verbleibendes C2F6, NF3 oder SF6 zu vernichten, was zu einer Kostenreduzierung führt.
Zielkundenprofil
Schlagwörter
Anwendungen
Vorteile
Aktivität Region
- Hauptsitz
- Aktivität
Unternehmensprofil
Solvay
Bei Solvay beherrschen wir die Elemente, die für unsere Welt wesentlich sind.
Hauptsitz
1120 Brussels, Belgium
Typ
Unternehmen
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